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技術(shù)文章
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    半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀
    型 號(hào):XP-703D
    品 牌:日本新宇宙
    技術(shù)指標(biāo):檢測(cè)氣體:半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等) 
    平?jīng)霭雽?dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀-XP-703D-日本新宇宙
    功能描述
    檢測(cè)氣體: 半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
    檢測(cè)原理: 熱線型半導(dǎo)體式
    采樣方式: 自動(dòng)吸引式
    可檢測(cè)濃度:
    0.2
    0.3
    硼乙烷 0.1
    硅烷 0.5
    氫氣 1.0
    檢測(cè)表示: 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
    應(yīng)答速度: 10秒以內(nèi)
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